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羅茨泵的工作原理

點(diǎn)擊次數(shù):3009 更新時(shí)間:2015-09-29

為1的一對(duì)齒輪帶動(dòng)作彼此反向的同步旋轉(zhuǎn)運(yùn)動(dòng)。在轉(zhuǎn)子之間,轉(zhuǎn)子與泵殼內(nèi)壁之間,保持有一定的

間隙,可以實(shí)現(xiàn)高轉(zhuǎn)速運(yùn)行。由于羅茨泵是一種無內(nèi)壓縮的真空泵,通常壓縮比很低,故高、中真空

泵需要前級(jí)泵。羅茨泵的極限真空除取決于泵本身結(jié)構(gòu)和制造精度外,還取決于前級(jí)泵的極限真空。

為了提高泵的極限真空度,可將羅茨泵串聯(lián)使用。

羅茨泵的工作原理:

羅茨泵的工作原理與羅茨鼓風(fēng)機(jī)相似。由于轉(zhuǎn)子的不斷旋轉(zhuǎn),被抽氣體從進(jìn)氣口吸入到轉(zhuǎn)子與泵殼之

的空間v0內(nèi),再經(jīng)排氣口排出。由于吸氣后v0空間是全封閉狀態(tài),所以,在泵腔內(nèi)氣體沒有壓縮和

膨脹。 但當(dāng)轉(zhuǎn)子頂部轉(zhuǎn)過排氣口邊緣,v0空間與排氣側(cè)相通時(shí),由于排氣側(cè)氣體壓強(qiáng)較高,則有一部

分氣體返沖到空間v0中去,使氣體壓強(qiáng)突然增高。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)動(dòng)時(shí),氣體排出泵外。

羅茨泵的工作原理:

如圖為羅茨泵轉(zhuǎn)子由0°轉(zhuǎn)到180°的抽氣過程。在0°位置時(shí)(圖中a),下轉(zhuǎn)子從泵入口封入v0體積

氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)到45°位置時(shí)(圖中b),該腔與排氣口相通。由于排氣側(cè)壓強(qiáng)較高,引起一部分氣體返

沖過來。當(dāng)轉(zhuǎn)到90°位置時(shí)(圖中c),下轉(zhuǎn)子封入的氣體,連同返沖的氣體一起排向泵外。這時(shí),上

轉(zhuǎn)子也從泵入口封入v0體積的氣體。當(dāng)轉(zhuǎn)子繼續(xù)轉(zhuǎn)到135°時(shí)(圖中d),上轉(zhuǎn)子封入的氣體與排氣口

相通,重復(fù)上述過程。180°(圖e)位置和0°位置是一樣的。轉(zhuǎn)子主軸旋轉(zhuǎn)一周共排出四個(gè)v0體積

的氣體。

羅茨泵的工作原理: